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2020-11
半導(dǎo)體晶圓廠在晶圓制造制程中使用到的化學(xué)物質(zhì)種類繁多,所用到...
尾氣廢氣的排放一直是人們關(guān)注的環(huán)境問題,對于特種氣體而言更是...
半導(dǎo)體工廠在制程過程會(huì)產(chǎn)生廢氣,超高純電子特氣系統(tǒng)的使用也會(huì)...
高純氣體系統(tǒng)由專用氣體設(shè)備(特氣柜、VMB等)、氣體偵測傳感...
隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,特氣設(shè)備越來越多的應(yīng)用于IC芯片生...
全自動(dòng)特氣柜(Gas Cabinet )是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等...